日本Nikkiso日机装HTCC静电卡盘叠层机NST-400-LAU

日本Nikkiso日机装全自动叠层机NST-400-LAU
日本Nikkiso日机装HTCC静电卡盘叠层机NST-400-LAU
日本Nikkiso日机装全自动叠层机NST-400-LAU是高速高精度板自动堆叠设备，是由上片、撕背膜、反转、对位、叠片、点胶、加压、下片等单元组成，是实现多层生料带jingque叠层的有效手段。它通过自动定位、叠片、点胶、压合等方法实现生料带高精度叠层等功能，主要用于生料带叠层。
日本Nikkiso日机装HTCC静电卡盘叠层机NST-400-LAU应用领域：LTCC低温共烧陶瓷，HTCC高温共烧陶瓷，LTCC探针卡，HTCC静电吸盘等多层陶瓷行业。材料对位叠加工序不与反向和焊接工序同时进行，有效保持定位后的正确位置精度。对位治具下方安装有CCD视觉检测系统来确认定位标识（材料加工孔等），保证了对位的精度和叠片的准确性。
静电吸盘，静电卡盘（Electrostatic Chuck，简称E-Chuck），其原理是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面，使晶圆保持较好的平坦度，可以抑制晶圆在工艺中的变形，并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度。
特点
LTCC或HTCC单张型叠层机
叠层精度：8英寸以内是正负10um
对应产品尺寸：150㎜,203㎜，300mm，400mm
叠层方法：对位后，使用油压机加压叠层
节拍：20秒内（按压时间5秒时）